1、样品可以是块体、薄膜或多层结构。
2、表面金属化: 必须在待测样品表面沉积一层非常薄(通常几十到几百纳米)、光滑、均匀的金属薄膜(常用铝或金)作为光学换能器和热学传感器。这层膜的沉积条件和质量直接影响测量精度。
3、表面平整度与光洁度: 要求极高。表面粗糙度需远小于激发激光的波长,以保证良好的光反射和热反射信号。通常需要对样品进行精细抛光。
4、界面接触: 对于测量界面热阻,需要人工制备出清晰、结合良好的界面(如薄膜-基底界面)。
5、尺寸: 样品尺寸通常需大于激光光斑(几十微米量级),且厚度要满足一维热流假设。
1.最小沉积线宽:10um;
2.线宽最小间距:20um;
3.单次沉积层厚:100nm~10μm可调;
4.喷嘴到基板最高间距:5mm;
5.机械快门:2毫秒响应时间,用于中断沉积头和基板之间的气溶胶束流;
6.室温下支持1~10cP 材料粘度范围;
7.喷嘴使用陶瓷材料制成,非不锈钢等材质。
该设备利用雾化与空气动力学聚焦技术,将多种墨水雾化成飞升级液滴,无需掩膜即可在2D/3D曲面或沟槽表面非接触沉积10µm精细结构。支持导电油墨、聚合物、生物材料等,可直接成型三维微晶格与微柱阵列,实现共形图案与电子结构的常温沉积。







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