清华大学深圳国际研究生院

微区形貌成分分析热性能物理性能 CT 微纳加工制样可靠性测试电池测试

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纳米压痕

型号规格：

iMicro

仪器地址：

能源与环境楼负二楼

联系人：

耿老师

联系电话：

0755-26034629

排样预约

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仪器介绍

•加载力范围：30nN-1000mN

•压入范围:5nm -80um

•力学Mapping像素：单张图最大10万个压痕点

•热漂移 <0.05nm/s

•50mN载荷分辨率优于5nN

•50mN载荷分辨率优于0.03 nm

•连续刚度载荷：最大载荷1000mN

•控制器响应速度：20微秒

•数据采集速率：100KHz

送样要求

注意事项

技术参数

参考标准

功能应用

样品上下表面平行，测试区域平整光滑，粗糙度小，

如金属材料按金相制样处理；

块状样品：边长小于30mm，

厚度小于10mm

镶嵌样品：直径20-30mm,厚度15-40mm

高温测试：直径8-20mm，厚度小于5mm。

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检测信息：

纳米压痕

设备型号：

iMicro

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