清华大学深圳国际研究生院

1.维氏硬度是将顶部两相对面具有规定角度的正四棱锥体金刚石压头用一定的试验力压入试样表面，保持规定时间后，卸除试验力，测量试样表面压痕对角线长度。维氏硬度值与试验力除以压痕表面积的商成正比，压痕被视为具有正方形基面并与压头角度相同的理想形状。
2.硬度试验力
 共10种
 0.3kgf、0.5kgf、1kgf、 2kgf、2.5kgf、3kgf、5kgf、10kgf、20kgf、30kgf                                        
3.物镜测量
 物镜     总放大倍数      最小检测单位
 10      100倍          0.25um
 20      200倍          0.125um
 40      400倍          0.0625um