立即预约
返回列表1、样品尺寸：高度小于20mm，正常直径小于5cm；样品直径在5cm-10cm的，可观察区域有限（需提前沟通测试位置）
2、样品无磁性，无水分、无挥发性物质
3、告知样品信息（样品名称、样品主要成分、磁性、酸碱性、挥发性等），尤其是磁性样品及含有S成分样品需作特殊说明；
4、若样品要求不能接触空气，应进行特殊说明；
5、若不确定样品是否干燥，为保证样品的充分干燥，在测试前提前6小时以上将样品送至扫描电镜室进行真空干燥处理，真空烘箱温度可控范围在RT+10℃~200℃，送样时请说明选择的干燥温度。
6、薄膜或者块状的样品一定要注明测试面、测试位置
1、预约时请填写详细的样品信息（样品名称、样品主要成分、磁性、酸碱性、挥发性等），尤其是磁性样品及含有S成分样品需作特殊说明。
2、样品的表面必须处理干净，金属试样表面要清理其表面氧化层及污染物；粉末状样品要注意分散性和粘牢；液体试样可以滴到导电性好的基材上,并做好干燥处理；
3、仪器配有真空转移盒装置，若样品要求不能接触空气，预约时应进行特殊说明，并且提前联系设备负责人。
4、测试时，请在预约测试时间的前五分钟到场，若样品需要喷金请提前十五分钟到场。如不能及时测试，请提前24小时取消预约。
1、 电子枪：冷阴极场发射电子源
2、 放大倍率：20~2000倍（低倍模式），100~800000倍（高倍模式）
3、 加速电压：0.1~ 30kV （0.1kV\/步，可变）
4、 二次电子分辨率：1.0nm（15kV），1.3nm（1kV，减速模式），2.0nm（1kV，普通模式）
5、 样品台 X:0~50mm Y: 0~50mm Z:1.5~30mm T: -5~+70° R:360°
6、 最大样品容纳尺寸：100mm
7、 能谱仪：有效晶体活区面积：30mm×30mm；分辨率优于128eV；检测元素范围：Be(4)-Pu(94)
8、 镀金机：镀铂、镀碳双系统；能容纳样品尺寸φ60*20（mm）
1、JY/T 0584-2020 扫描电子显微镜分析方法通则
2、GB/T 16594-2008 微米级长度的扫描电镜测量方法通则
3、GB/T 17359-2023 微束分析 原子序数不小于11的元素能谱法定量分析
4、GB/T 32869-2016 纳米技术 单壁碳纳米管的扫描电子显微术和能量色散X射线谱表征方法
5、Good Practice Guide No.145 石墨烯结构的表征
1、材料的高分辨形貌分析
2、镀层表面形貌分析和深度检测
3、化学成分像分布，微区化学成分分析显微组织及超微尺寸材料的研究
4、集成电路中的损伤研究，金属和薄膜电阻的导电形式
5、能谱仪具有点、线、面分析功能，具有相分析、自动颗粒物分析以及形态学分析功能
6、配备真空转移装置，可在不接触空气的环境中更换样品
