清华大学深圳国际研究生院

SEM-EBSD

型号规格:
Apreo 2S HiVac
仪器地址:
光明实验室
联系人:
钰老师
联系电话:
0755-26034629
仪器介绍

应用/Application:

适用于纳米颗粒、粉末、催化剂、纳米器件、绝缘材料、敏感材料、磁性样品、金属和合金、陶瓷、半导体、超导体、矿石等材料的高分辨成像和数据采集,包括:材料的微观形貌、元素分布、晶体性质等,如热机械处理过程、塑性变形过程、与取向关系有关的性能(成型性、磁性等)、界面性能(腐蚀、裂纹、热裂等)、相鉴定等,可对晶体的织构及取向差、晶粒尺寸及形状、晶界、亚晶及孪晶性质、相鉴定及相比、应变等进行分析。


二次电子分辨率 SE resolution

0.7nm @ 30kV STEM;

0.5nm @ 15kV beam deceleration;

0.9nm @ 1kV;

0.8nm @ 1kV beam deceleration;

0.8nm @ 500V beam deceleration;


能谱仪 Energy Dispersive Spectroscopy

1.1. 有效面积65mm2,高分子超薄窗设计。

1.2. 元素分析范围Be4—Cf98;

1.3. 分辨率Mn Ka 于130,000 cps下保证优于127Ev;

1.4. 输出最大计数率:可处理最大计数率:1,600,000 CPS,最大输出计数率>850,000 CPS;

 

电子背散射衍射 Electron Backscattered Diffraction

2.1. EBSD探测器采用最新CMOS图像传感器技术,极高的花样分析能力。

2.2. EBSD像素分辨率最高达1244*1024,在此分辨率条件下,最大采集速度240点每秒。

2.3. EBSD最高在线采集速度优于4500点/秒,在最高速度时花样分辨率为156x88像素。

2.4. 角度分辨率可达0.05度。

送样要求
注意事项
技术参数
参考标准
功能应用
设备位于光明,其它单位共享
检测申明
1.告知样品有无磁性,是否需要喷金,制样要求,粉末10mg,块体样品直径小于等于1cm,厚度小于等于1cm; 2.告知拍摄放大倍数; 3.常规粉末直接粘到导电胶上测试,液体/粉末如需分散制样,请在委托单上注明分散剂、超声时间以及干燥条件,若块体/薄 膜样品测试之前需要干燥,请注明干燥条件;若需拍块体/薄膜截面,需注明截面制样方式。 4.EBSD需客户制作好样品,委托中心制样加收制样费。
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设备信息
检测信息:
SEM-EBSD
设备型号:
Apreo 2S HiVac
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