清华大学深圳国际研究生院

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FIB

型号规格：
Helios 5 CX
仪器地址：
光明实验室
联系人：
谭老师
联系电话：
0755-26034629
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仪器介绍
参数指标:
1、电子東流范围: 0.8 pA to 176 nA
2、加速电压: 200 V-30 kV
3、电子東着陆能量范围: 20 eV-30 keV
4、离子東流范围: 1 PA-100 nA

5、交叉处离子分辨率:4.0 nm @30 kV


主要功能：
1、材料的高分辨形貌分析
2、TEM及APT样品制备
3、微纳米加工及刻蚀于沉积功能
4、高精度截面切割
5、X射线能量色散谱（EDS）分析
6、连续切片3D重建表征
送样要求
注意事项
技术参数
参考标准
功能应用
设备位于光明，其它单位共享
微信小程序
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mdtcservice@sz.tsinghua.edu.cn