清华大学深圳国际研究生院

微区形貌成分分析热性能物理性能 CT 微纳加工制样可靠性测试电池测试

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SEM(Apreo 2S)

型号规格：

Apreo 2S HiVac

仪器地址：

深圳市南山区西丽清华校区能源环境大楼负2楼

联系人：

耿老师

联系电话：

0755-26034629

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仪器介绍

主要功能

1、材料的高分辨形貌分析

2、镀层表面形貌分析和深度检测

3、化学成分像分布，微区化学成分分析显微组织及超微尺寸材料的研究

4、集成电路中的损伤研究，金属和薄膜电阻的导电形式

5、材料的晶体结构、晶体取向分布分析等

6、能谱仪具有点、线、面分析功能，具有相分析、自动颗粒物分析以及形态学分析功能

技术参数

1、电子枪：热阴极场发射电子源

2、二次电子分辨率：500V~0.8nm,1KV~0.8nm,15KV~0.5nm

3、加速电压：200 V ~ 30 kV

4、样品台 X:110mm Y: 110mm Z:65mm T: -5~+90° R:360°,承重5kg

5、最大样品容纳尺寸：122mm

6、能谱仪：有效晶体活区面积：60mm2；分辨率优于128eV；检测元素范围：Be(4)-Pu(94)

7、镀金机：镀金、镀碳双系统；能容纳样品尺寸φ60*20（mm）

送样要求

注意事项

技术参数

参考标准

功能应用

1、预约时请填写详细的样品信息（样品名称、样品主要成分、磁性、酸碱性、挥发性等），尤其是磁性样品及含有S成分样品需作特殊说明; 2、最大样品直径100mm，高度70mm以下，最大重量5kg; 3、样品的表面必须处理干净，金属试样表面要清理其表面氧化层及污染物；粉末状样品要注意分散性和粘牢；液体试样可以滴到导电性好的基材上,并做好干燥处理； 4、测试时，请在预约测试时间的前五分钟到场，若样品需要喷金请提前十五分钟到场。如不能及时测试，请提前24小时取消预约。