清华大学深圳国际研究生院

微区形貌成分分析热性能物理性能 CT 微纳加工制样可靠性测试电池测试

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SEM（SU8010）

型号规格：

HITACHI SU8010

仪器地址：

深圳市南山区西丽清华校区能源环境大楼4楼-419室

联系人：

耿老师

联系电话：

0755-26034629

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仪器介绍

主要功能

1、材料的高分辨形貌分析

2、镀层表面形貌分析和深度检测

3、化学成分像分布，微区化学成分分析显微组织及超微尺寸材料的研究

4、集成电路中的损伤研究，金属和薄膜电阻的导电形式

5、能谱仪具有点、线、面分析功能，具有相分析、自动颗粒物分析以及形态学分析功能

6、配备真空转移装置，可在不接触空气的环境中更换样品

技术参数

1、电子枪：冷阴极场发射电子源

2、放大倍率：20~2000倍（低倍模式），100~800000倍（高倍模式）

3、加速电压：0.1~ 30kV （0.1kV/步，可变）

4、二次电子分辨率：1.0nm（15kV），1.3nm（1kV，减速模式），2.0nm（1kV，普通模式）

5、样品台 X:0~50mm Y: 0~50mm Z:1.5~30mm T: -5~+70° R:360°

6、最大样品容纳尺寸：100mm

7、能谱仪：有效晶体活区面积：30mm2；分辨率优于128eV；检测元素范围：Be(4)-Pu(94)

8、镀金机：镀铂、镀碳双系统；能容纳样品尺寸φ60*20（mm）

送样要求

注意事项

技术参数

参考标准

功能应用

1.预约时请填写详细的样品信息（样品名称、样品主要成分、磁性、酸碱性、挥发性等），尤其是磁性样品及含有S成分样品需作特殊说明。 2.样品的表面必须处理干净，金属试样表面要清理其表面氧化层及污染物；粉末状样品要注意分散性和粘牢；液体试样可以滴到导电性好的基材上,并做好干燥处理； 3.仪器配有真空转移盒装置，若样品要求不能接触空气，预约时应进行特殊说明，并且提前联系设备负责人。 4. 测试时，请在预约测试时间的前五分钟到场，若样品需要喷金请提前十五分钟到场。如不能及时测试，请提前24小时取消预约。