飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）是采用初级脉冲离子束作用于样品表面，通过离子化过程激发出二次离子，然后利用飞行时间质量分析器精准测量二次离子的质量数，从而获取样品表面的化学组分和分子结构等信息。TOF-SIMS具有超低检出限（ppm）、同时拥有极高质量分辨和高空间分辨能力，可以提供表面离子信息和空间分布信息，以及组分的三维（3D）分布。
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