冷场发射扫描电子显微镜SU8010(SEM)
(MDTC-EQ-M18-01)
型号规格:HITACHI SU8010
仪器地址:深圳市南山区西丽清华校区能源环境大楼4楼-419室
设备负责人:耿老师
联系电话:075526034629
注意事项:1.预约时请填写详细的样品信息(样品名称、样品主要成分、磁性、酸碱性、挥发性等),尤其是磁性样品及含有S成分样品需作特殊说明。 2.样品的表面必须处理干净,金属试样表面要清理其表面氧化层及污染物;粉末状样品要注意分散性和粘牢;液体试样可以滴到导电性好的基材上,并做好干燥处理; 3.仪器配有真空转移盒装置,若样品要求不能接触空气,预约时应进行特殊说明,并且提前联系设备负责人。 4. 测试时,请在预约测试时间的前五分钟到场,若样品需要喷金请提前十五分钟到场。如不能及时测试,请提前24小时取消预约。
仪器预约
  • 详细信息
  • 收费标准
  • 经典数据
  • 文献成果
  • 主要功能

    1、材料的高分辨形貌分析

    2、镀层表面形貌分析和深度检测

    3、化学成分像分布,微区化学成分分析显微组织及超微尺寸材料的研究

    4、集成电路中的损伤研究,金属和薄膜电阻的导电形式

    5、能谱仪具有点、线、面分析功能,具有相分析、自动颗粒物分析以及形态学分析功能

    6、配备真空转移装置,可在不接触空气的环境中更换样品

    技术参数

    1、 电子枪:冷阴极场发射电子源

    2、 放大倍率:20~2000倍(低倍模式),100~800000倍(高倍模式)

    3、 加速电压:0.1~ 30kV 0.1kV/步,可变)

    4、 二次电子分辨率:1.0nm15kV),1.3nm1kV,减速模式),2.0nm1kV,普通模式)

    5、 样品台 X:0~50mm Y: 0~50mm Z:1.5~30mm T: -5~+70° R:360°

    6、 最大样品容纳尺寸:100mm

    7、 能谱仪:有效晶体活区面积:30mm2;分辨率优于128eV;检测元素范围:Be(4)-Pu(94)

    8、 镀金机:镀铂、镀碳双系统;能容纳样品尺寸φ60*20(mm)

  • SEM:校内用户收费:600元/H,校外用户收费:600元/H;

    EDS:在SEM机时基础上增加收费,100元/样;

    喷金:200元/次(40s)

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