主要功能

1、材料的高分辨形貌分析

2、镀层表面形貌分析和深度检测

3、化学成分像分布，微区化学成分分析显微组织及超微尺寸材料的研究

4、集成电路中的损伤研究，金属和薄膜电阻的导电形式

5、能谱仪具有点、线、面分析功能，具有相分析、自动颗粒物分析以及形态学分析功能

6、配备真空转移装置，可在不接触空气的环境中更换样品

技术参数

1、 电子枪：冷阴极场发射电子源

2、 放大倍率：20~2000倍（低倍模式），100~800000倍（高倍模式）

3、 加速电压：0.1~ 30kV （0.1kV/步，可变）

4、 二次电子分辨率：1.0nm（15kV），1.3nm（1kV，减速模式），2.0nm（1kV，普通模式）

5、 样品台 X:0~50mm Y: 0~50mm Z:1.5~30mm T: -5~+70° R:360°

6、 最大样品容纳尺寸：100mm

7、 能谱仪：有效晶体活区面积：30mm²；分辨率优于128eV；检测元素范围：Be(4)-Pu(94)

8、 镀金机：镀铂、镀碳双系统；能容纳样品尺寸φ60*20（mm）