设备名称
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冷场发射扫描电子显微镜SU8010（SEM）
（MDTC-EQ-M18-01）
主要功能
1、材料的高分辨形貌分析
2、镀层表面形貌分析和深度检测
3、化学成分像分布，微区化学成分分析显微组织及超微尺寸材料的研究
4、集成电路中的损伤研究，金属和薄膜电阻的导电形式
5、能谱仪具有点、线、面分析功能，具有相分析、自动颗粒物分析以及形态学分析功能
6、配备真空转移装置，可在不接触空气的环境中更换样品
技术参数
1、 电子枪：冷阴极场发射电子源
2、 放大倍率：20~2000倍（低倍模式），100~800000倍（高倍模式）
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    • 未开放

    • 可预约
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    • 支持提前8天预约，预约时长:0.5小时-2小时
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